多晶硅制备中节能降耗技术的研究

作者：陈其国; 钟真武; 高建; 于伟华; 陈文龙; 江宏富

来源：氯碱工业, 2012, (09): 28-30.

• 多晶硅
• 改良西门子法
• 节能降耗 polycrystalline silicon
• modified Siemens process
• energy saving and consumption reducing

探讨改良西门子法多晶硅工艺中副产物的综合利用、优化沉积工艺、优化与开发新型高效节能大型还原炉和新型高反射涂层等技术对多晶硅生产中节能降耗的影响,指出将目前已普遍使用和发展成熟的过程强化技术应用于多晶硅制备,可进一步降低多晶硅的制备成本。

• 单位
  江苏中能硅业科技发展有限公司; 南京大学; 固体微结构物理国家重点实验室