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摘要
液体静压导轨副精度检验技术是超精密液体静压导轨系统有效运行的重要前提和必要保证。采用了静压导块、压力变送器、PM流量控制器等关键部件和元件,搭建了液体静压导轨副实际工况下的精度验证装置,并阐明了其测量原理。结果表明,与试验平台上下导轨面配对的静压滑块2个油腔压力波动均平稳;因此,所采用的静压导轨性能稳定,满足设计精度要求。该验证装置可以有效地检测服役状态下闭式液体静压导轨的导轨面形貌误差,为同行提供工程应用参考。
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单位机械科学研究总院
