有效实施混合集成电路工序检验

作者：陈容; 杨亮亮; 吴秋菊; 石静; 赵淑霞

来源：测试技术学报, 2019, 33(04): 356-360.

• 混合集成电路
• 镜检
• 不合格品
• 先进成像技术
• 自动光学检测

为避免混合集成电路在生产过程中工序检验的漏检,造成不合格品的无法及时剔除、成本的浪费、效率和可靠性降低,本文从混合集成电路工序检验的内容及作用出发,结合军工企业在混合集成电路工序检验方面的现状和面临的问题,提出了解决办法.①提高镜检人员检验能力;②借助先进成像技术降低镜检难度;③使用自动光学检测设备提升镜检效率并降低漏检率.通过3种方法,有效反馈不合格品数据到各工序,各工序进行有针对性的改进.最终,从生产线在线不合格品数据统计和生产数据统计可以看出,不仅提升了镜检效率,同时通过不合格品数据的及时、有效反馈,生产线各类典型缺陷得到明显下降.

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十四研究所; 中北大学