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摘要
本发明公开了一种微纳米级复合测量的坐标统一标定器及标定方法,采用微纳米三坐标机和白光干涉仪进行复合测量,设置标定器为三棱台体,具有四个均为平面的测量面；采用三坐标机和干涉仪针对四个测量面分别进行测量,通过拟合三棱台体上端面各顶点坐标；针对各顶点坐标采用单位四元数法进行处理,实现三坐标机和干涉仪的坐标系的统一。本发明标定器几何特征简单,平面加工精度能够得到保证；本发明标定器不仅解决了已有标定器不适用于微纳米级复合测量系统标定的问题,同时使白光干涉仪的Z向精度得到充分体现以及发挥了微纳米三坐标测量机和白光干涉仪适合测量平面的优势,有效保证了坐标统一精度。
- 单位
