具有45°全内反射耦合镜聚合物波导的制作和性能测试

作者：张飒飒; 王青圃; 张行愚; 刘兆军; 连洁; 李岚; 陈佳琦; 王丽; 陈瑞曾

来源：光电子.激光, 2009, 20(4): 429-431.

DOI：10.3321/j.issn:1005-0086.2009.04.002

• 全内反射(TIR)
• 聚合物
• 波导
• 耦合镜

提出了在印刷电路板(FCB)上实现全嵌入光互联(FEOI)的方法,采用软成型技术(微转移成型)制作了具有45°微反射镜的聚合物波导.这种技术可以用PDMS弹性模板把特征尺寸大于几唧的图案转移到衬底上.在波长为850 nm时,测量的多模波导传播损耗为0.16 dB/cm,45°镀Ag微反射镜的耦合效率测得为92%.具有高品质45°微反射镜、低损耗和热稳定好的铸模聚合物波导,为高速全嵌入板级光互联提供了一个低成本的解决方案.

• 单位
  天津理工大学; 山东大学