对压电陶瓷驱动器在工作过程中因迟滞非线性效应造成的误差提出了一种迟滞误差补偿控制方法。首先针对迟滞非线性，基于PI模型构建了相应的迟滞模型，并利用其逆模型对压电驱动器的输入电压进行调整；其次针对PI模型的不足之处，结合PID闭环控制进一步对迟滞误差进行补偿。最后基于LabVIEW FPGA模块搭建了压电迟滞补偿控制系统，并进行了单轴正弦振动轨迹控制试验研究。试验结果表明，在复合控制下，压电陶瓷驱动器在100 Hz以内频率下输出位移的最大相对误差在3%以内。
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