碲镉汞纳米材料与器件的LBIC检测技术

作者：贾嘉; 龚海梅; 李向阳

来源：云南大学学报(自然科学版), 2005, S1: 209-215.

• LBIC技术
• 碲镉汞材料与器件
• 纳米级 LBIC
• HgCdTe material and photodiodes
• nanoscale

介绍一种可用于红外碲镉汞(HgCdTe)材料与器件研究的高分辨率、无损伤光学检测方法——激光诱导电流(LBIC)技术.该技术可以描绘出碲锅汞薄膜材料中具有电活性的缺陷分布图,也可以无须为列阵中的每个像元制作电极就用于探测器像元的检测.利用得到的数据可以推算出p-n结的扩散长度、结深和探测器的品质因子(R0A)及均匀性等许多参数.给出了碲镉汞一些典型参量的LBIC理论与实验结果,说明LBIC检测技术对碲镉汞材料与器件的特性表征起到了十分重要的作用.

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中国科学院上海技术物理研究所