利用等效电路 ,估算出高性能液晶光阀对非晶硅光电导层交流电阻率的要求。用化学气相沉积法在最佳工艺条件下制备了非晶硅薄膜 ,测量了样品的交流电阻率。结果表明 ,非晶硅薄膜的交流电阻率随照射光的波长增大而先减小后增大 ,随功率密度、衬底温度和射频功率的增大而减小。样品的交流电阻率满足高性能液晶光阀光电导层的要求。
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