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摘要
本发明公开了一种多片单晶金刚石同时扩径生长的方法,包括：在金属托盘上分开固定设置N片第一单晶金刚石；使N片第一单晶金刚石同时生长至第一厚度,以对应形成若干N片第二单晶金刚石,且N片第二单晶金刚石的上表面所处的高度小于等于设置高度处；降低N片第二单晶金刚石的高度,使N片第二单晶金刚石的上表面所处的高度始终小于等于设置高度处,直至N片第二单晶金刚石的厚度为第二厚度。本发明将多片单晶金刚石分开固定设置在金属托盘上,避免了相邻两个单晶金刚石由于扩径生长而产生挤压的情况,避免了多晶的产生,提高了单晶金刚石的结晶质量,同时由于能够同时使多片单晶金刚石扩径生长,因此提高了生长效率,缩短了生长周期,且降低了生长成本。
- 单位
