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摘要
本发明公开了一种基于石英音叉三维谐振触发测头的触发力测量方法,包括：1设定石英音叉谐振触发测头输出电压触发阈值,2设定压电微位移平台移动参数,3读取石英音叉三维谐振触发测头当前输出电压幅值,与所设定的触发阈值进行比较,4根据比较结果,若读取到的电压幅值大于设定触发阈值,则控制压电微位移平台沿指定方向移动一个步距5若读取电压幅值小于设定触发阈值,则使压电微位移平台停止逼近,保持当前位置延时后,令位移台回退6微力传感器记录该过程测力值。本发明能实现基于石英音叉三维谐振触发测头触发力的测量,以验证微纳米三坐标测量机测头测量力低的特点,对于实现柔软质地微型精密元件的测量具有一定的理论意义和实用价值。
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