晶圆级微纳米栅格标准样片制备及比对测量

作者：饶张飞; 金红霞; 秦凯亮

来源：中国计量, 2021, (08): 86-90.

DOI：10.16569/j.cnki.cn11-3720/t.2021.08.037

<正>本文提出一种晶圆级微纳米栅格计量标准样片研制方法,并依托集成电路生产线开展周期为500nm、1000nm和2000nm的晶圆级一维线距栅格、二维网格栅格和二维XY栅格图案的批量化制备,同时进一步利用5个可溯源至SI单位的扫描电子显微镜对标准样片进行了比对测量。

• 单位
  西安微电子技术研究所