抛物非球面零位干涉检测的补偿器设计

作者:闫钧华; 胡子佳; 朱德燕; 陈阳; 张寅; 范君杰
来源:电子设计工程, 2022, 30(06): 66-75.
DOI:10.14022/j.issn1674-6236.2022.06.015

摘要

非球面因具有自由度多、像差校正能力强等优点,已作为一种更优良的面型广泛应用于航天、遥感等领域的载荷系统中。达到高精度检测要求的非球面可以在光电检测领域广泛使用,为此设计了针对口径800 mm,曲率半径1 400 mm的抛物非球面补偿器。基于像差理论计算了补偿器初始结构,并在Zemax中采用逆向设计的方法建立初始结构。结构优化后得到了设计结果PV=0.014 8λ,RMS=0.003 6λ,相关设计结果满足PV<0.25λ,RMS<0.02λ的高精度检测要求。根据所设计的补偿器结构进行公差分析,结果表明设计的补偿器可用于实际加工。

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