热处理工艺过程对CSBT/LNO薄膜性能的影响

作者：范素华; 张丰庆; 于冉; 王营营

来源：稀有金属材料与工程, 2013, S1: 10-12.

• 热处理温度
• CSBT/LNO薄膜
• 铁电性能 Thermal-decomposition temperature
• CSBT/LNO films
• Ferroelectric properties

探讨了匀胶速度、热分解温度及退火温度对CSBT/LNO薄膜取向和性能的影响。结果表明:制备(200)衍射峰择优的CSBT/LNO薄膜的最佳热处理工艺条件为:匀胶速度4000r/min,热分解温度400℃,退火温度为725℃;薄膜样品呈现a轴择优取向,I(200)/I(119)=1.26;样品铁电性能优良,剩余极化强度2Pr=36.7μC/cm2,对应的矫顽电场2Ec=156kV/cm;相对介电常数εr=215,具有较好的频率稳定性。

• 单位
  山东建筑大学; 山东女子学院