针对机械轴类偏心零件偏心量测量问题,提出了一种基于反转法和最小二乘法的偏心量测量方法。分析了影响测量精度的主要因素,并重点研究了探测头测量位置对测量精度的影响。通过对机器人关节减速器中偏心轴零件进行数字模拟,对不同测量位置下偏心量的测量结果和测量误差进行了分析,并给出了其测量误差曲线,为实际测量过程中提高测量精度提供一定的技术支撑。