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摘要
微光机电系统（MOEMS）加速度计具有精度高、抗电磁干扰、环境适应性好、可靠性高及易小型化的特点，是未来惯性仪表的重要发展方向。根据光学检测原理对现有微光机电系统加速度计进行了分类：基于直接光强调制、基于光的波动性、基于光与物质相互作用的微光机电系统加速度计；基于测量原理和典型案例，分析了这3类微光机电系统加速度计的优缺点和适用场景；结合微光机电系统加速度计的研究进展，提出了其未来发展的趋势和重点方向。
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单位西安现代控制技术研究所; 西北工业大学; 自动化学院
