数字微镜阵列微立体光刻系统光路仿真与应用

作者:武传祥; 蔡树向; 杨文广*
来源:烟台大学学报(自然科学与工程版), 2022, 35(03): 351-356.
DOI:10.13951/j.cnki.37-1213/n.210503

摘要

提出了一种基于数字微镜阵列的微立体光刻系统,并在COMSOL Multiphysics软件中进行了系统光路的建模与仿真。在分析微立体光刻系统的技术原理与组成元件基础上,建立了微立体光刻系统的完整光路仿真模型。最后,搭建了一套基于数字微镜阵列的微立体光刻系统,实现了水凝胶的个性化定制加工以及批量动态制造。

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