使用电子背向散射衍射技术研究了预变形程度和变形温度对CoCrFeMnNi高熵合金的变形机制和后续再结晶行为的影响。结果表明,在低应变量条件下,变形温度对CoCrFeMnNi高熵合金的形变微观组织没有显著的影响,形变机制均以位错滑移为主导;在室温下变形,随着应变量的增大位错滑移和孪生变形共同主导变形。在低温退火条件下预变形程度对再结晶行为也没有显著的影响,难以发生再结晶。但是在高温退火条件下,变形程度的提高使再结晶晶粒显著细化和∑3晶界的比例大幅度提高。
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