Zn含量对NiZn铁氧体薄膜结构和磁性能的影响

作者：刘培元; 张凯; 冉茂君; 青豪; 余忠^*; 孙科; 兰中文

来源：磁性材料及器件, 2022, 53(02): 22-26.

DOI：10.19594/j.cnki.09.19701.2022.02.004

• NiZn铁氧体薄膜
• 旋转喷涂法
• Zn含量
• 低温沉积
• 磁性能,显微形貌

采用旋转喷涂法低温沉积制备NiZn铁氧体薄膜，研究了Zn含量对NiZn铁氧体薄膜相结构、显微形貌和磁性能的影响。结果表明，随Zn含量增加，薄膜平均晶粒尺寸增大，其结晶度和饱和磁化强度Ms先增大后减小，矫顽力Hc减小至0.57 kA/m，薄膜起始磁导率μ′增大，截止频率fr降低。EDS测试结果可知旋转喷涂法制备NiZn铁氧体薄膜中Zn含量越高时成分中Ni的缺失越严重。当主配方为Ni0.09Zn0.68Fe2.23O4时，频率在100 MHz的起始磁导率μ′可达最大值96。

• 单位
  电子科技大学; 乳源东阳光磁性材料有限公司