非晶合金微力传感器

作者：张凯翔; 马明哲; 刘泽^*

来源：传感器与微系统, 2021, 40(05): 67-70.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)05-0067-04

• 微力传感器
• 非晶合金
• 微纳机电系统
• 微成型

非晶合金具有高强度、高弹性极限等优异的力学性质以及独特的可热塑性成形特性。基于设计的双悬臂探针,制备了一种非晶合金微力传感器。利用所制备的微力传感器,在显微镜下可方便地实现微纳米尺寸试样或部件侧弯作用下的载荷—位移曲线的快速获取。该微力传感器测试原理简单,不需要额外的测试电路设计,具有线性度好、可重复性高、量程大等特点。

• 单位
  建筑工程学院; 武汉大学