氦吸附对真空箱氦检精度的影响及优化研究

作者：刘善民; 陶丽; 李红梅; 王贵强

来源：自动化应用, 2023, 64(19): 122-127.

• 变矩器
• 真空箱
• 氦检精度
• 氦吸附

系统开发、氦检漏率、不同氦检方法是氦质谱检漏研究的重点。针对氦检系统本底值过高这一实际课题，本文验证了真空箱氦检中的氦吸附，同时从真空箱、密封件、阀件等方面提出了优化措施。结果表明，氦吸附会降低氦检精度，将合格品错判成不合格品。