大光栅刻划机工作台的摆角矫正机构研制

作者：杨超; 于海利; 糜小涛; 巴音贺希格; 唐玉国

来源：仪器仪表学报, 2014, 35(05): 1065-1071.

DOI：10.19650/j.cnki.cjsi.2014.05.015

• 光栅刻划机
• 刻划光栅
• 摆角误差
• 压电触动器

大光栅刻划机若存在摆角误差,将直接影响刻划光栅的波前质量。首先,计算得到李特洛设置下的摆角误差与波前质量的映射关系。其次,论述了双压电触动器校正摆角的工作原理,并设计了摆角测量光路,测量在该结构下工作台的摆角校正能力。最后基于以上结构对工作台进行刻划实验。结果表明在具有400×500光栅刻划能力的刻划机上,采用双压电触动器校正工作台摆角误差,能够满足±5μm行程范围内±2″校正范围的要求;实验表明摆角误差校正后工作台的偏转角度由0.42″降低至0.02″,校正后的摆角误差相比于校正前降低了95.24%,满足对工作台摆角校正精度的要求,提高了光栅的波前质量。以上实验结果为刻划出高精度大面积光栅提供了基础保障。

• 单位
  中国科学院大学; 中科院长春光学精密机械与物理研究所