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摘要
基于微流体在锥形通道内流动的非对称性，设计并制作了一种电磁力驱动的扩散管/汇聚管型无阀微泵，该微泵主体部分由嵌有微型线圈的聚二甲基硅氧烷(PDMS)振动膜和含有微米级锥形管的泵体组成。当在微型线圈中通入交流电信号，线圈中会产生周期性变化的磁场，与外部永磁体产生的恒定磁场相互作用产生振动，并带动PDMS振动膜往复运动。为了提高微泵的泵送性能，将30个锥形管并排连接到泵腔和微泵的进出口处。之后对制备的微泵的性能进行测试，分析了泵送气体的方向，并探究了驱动电压幅值和驱动频率对泵送气体体积流量的影响。测试结果表明，所设计的无阀微泵能够向锥形通道的扩散方向泵送气体，且随着驱动电压和驱动频率的增大，泵送气体体积流量增加。
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