基于射频磁控溅射技术高容量硅负极薄膜材料可控制备研究

作者：王春花; 罗启波; 陈亚岚; 白国梁^*; 刘娜; 卫巍; 董彦杰; 吴根华

来源：鲁东大学学报(自然科学版), 2020, 36(01): 55-97.

• 锂离子电池
• 负极材料
• 硅
• 射频磁控溅射
• 溅射功率

硅基薄膜材料由于具有较高比容量、较好的循环寿命等优势而备受关注.本文采用射频磁控溅射方法在不同功率下制备了锂离子电池Si薄膜负极材料.采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)、EDS等手段进行了物理表征,并采用恒流充放电性能测试、循环伏安测试(CV)等手段研究了射频溅射功率对硅负极薄膜材料的电化学性能影响.研究结果表明在溅射时间为5 min的条件下,当溅射功率为120 W时,Si薄膜的综合电化学性能是最优的,其首周充电比容量达到3595 mAh/g,循环150周后容量仍然高达2768 mAh/g,显示出了良好的循环性能,同时也表现出较好的倍率性能.

• 单位
  化学化工学院; 安庆师范大学