锆钛酸铅压电陶瓷的流延法制备及其性能

作者：张少峰; 袁晰^*; 闫明洋; 王晓宇; 高峰; 周科朝; 张斗

来源：中国有色金属学报, 2020, 30(02): 326-332.

• 锆钛酸铅
• 压电陶瓷
• 流延成型
• 致密度
• 压电应变常数

流延法工艺具有工艺便捷、尺寸可调、成膜质量好等优势。采用流延法制备PZT压电陶瓷,通过扫描电子显微镜观察压电陶瓷微观形貌,通过准静态d33测量仪测试压电陶瓷的压电应变常数d33。探究粉末粒径以及流延工艺参数包括刮刀高度、流延速度、热压压力等对PZT压电陶瓷性能的影响,获得的PZT压电陶瓷其压电应变常数d33最高可达454 pC/N,致密度最高可达97.68%。该方法适用于制备大尺寸压电器件。

• 单位
  粉末冶金国家重点实验室; 中南大学; 化学化工学院; 北京空间飞行器总体设计部