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摘要
本发明涉及一种微区定位和寻回方法,采用两步定位法,在第一步定位中算出网格十字角位置的坐标值,在第二步定位中通过使用显微分析仪器中的标尺的功能,以图像中显示的标尺为参照的测量方法,综合了计算和测量的优点,不仅提高了定位的精度,将距离测量的精度提高了两个数量级,由报道的十微米级提高到百纳米级,而且大大提高了定位计算过程的容错能力,即第一步定位过程中即使定位误差达数十微米级,仍可采用本方法实现百纳米级别的定位精度；此外,应用本方法还可以在同一次测试中,使用一套标记点可定位多个目标位置,可大大提高微区分析的工作效率,同时为微区分析仪器间的关联成像提供了技术支持。
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