交替溅射法制备BaM铁氧体薄膜的特性研究

作者：张弘; 刘曦; 刘小晰; 魏福林; A.S.Kamzin; 贺德衍

来源：人工晶体学报, 2009, 38(06): 1380-1383+1393.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2009.06.050

• 钡铁氧体薄膜
• 垂直各向异性
• 穆斯堡尔谱 barium ferrite film
• perpendicular anisotropy
• Mssbauer spectra

以双靶射频溅射和交替沉积的方法制备了不同化学组成的BaM铁氧体薄膜。对所沉积的薄膜进行了两种不同方式的热处理。通过热处理后铁氧体薄膜的X射线衍射(XRD),逆转换电子穆斯堡尔谱(CEMS)及原子力显微镜(AFM)等微观结构的分析和宏观磁性的测试,结果表明两步骤退火过程对于垂直取向结构的形成是有利的。

• 单位
  信州大学; 兰州大学