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摘要
波分复用/解复用器与可调光衰减器的是光通信系统中的重要元器件。为了得到制备工艺简单、响应速度快的二者的单片集成芯片,并且考虑到其与其他不同光器件的集成可能性,在绝缘体上硅材料制作了16通道、信道间隔200 GHz的阵列波导光栅复用/解复用器与电吸收型可调光衰减器的单片集成。该器件的片上损耗小于7 dB,串扰小于-22 dB。电吸收型VOA在20 d B的衰减量下的功耗为572 m W(106 m A,5.4 V)。此外,该器件可以实现光功率的快速衰减,在0～5 V的外加方波电压下,VOA上升及下降时间分别为50.5 ns和48 ns。
- 单位
