纳米金刚石半导体薄膜传感器的研究与模拟

作者：李严; 薛娓娓; 杨延宁

来源：科技资讯, 2011, (33): 2.

DOI：10.16661/j.cnki.1672-3791.2011.33.091

• 金刚石
• 半导体

金刚石具有很强的抗辐射性、耐腐蚀性能,被誉为发展前途广阔的第三代半导体材料。本文将从纳米金刚石半导体薄膜的研究现状出发,并详细分析了使用纳米金刚石薄膜压力传感器,并通过实验的方式制作与完成整个传感器的模拟实验。

• 单位
  延安大学西安创新学院