厚膜压力传感器的结构优化

作者：陈建群; 马以武; 张宾

来源：传感器与微系统, 2006, (11): 57-60.

DOI：10.13873/j.1000-97872006.11.019

• 厚膜压力传感器
• 有限元分析
• 稳定性 thick film pressure sensor
• finite element analysis(FEA)
• stability

为提高厚膜压力传感器的稳定性,借助有限元分析软件Ansys,研究了厚膜压力传感器弹性体的应力分布,进而设计了应变电阻的尺寸,并优化了其布局。采用Ф18mm的96%A l2O3弹性体瓷件研制了一种新型厚膜力敏芯片,实验结果表明:它的热零点温漂小于3×10-4FS/℃,过载达120%,非线性误差及迟滞误差都小于±0.2%FS,精度由±0.4%FS提高到±0.2%FS,其线性度和稳定性得到很大提高,可广泛应用于仪器仪表、测控和导航等领域。

• 单位
  中国科学院合肥智能机械研究所; 传感技术国家重点实验室; 中国科学院，合肥智能机械研究所