磁控溅射镀膜法有膜-基贴合度好、溅射薄膜均匀度好、溅射速率快等优点，用其制备的柔性传感器有较高的灵敏度。文章简述了磁控溅射技术的发展状况及工作原理，介绍了敏感材料的种类，总结了几种常用的聚合物材料和纺织材料基底，并分别对其制备的柔性传感器的优缺点进行了分析。
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