摘要

在引线键合工艺中,焊接压力和超声能量是影响引线键合质量的两个关键因素。在超声能量相同的前提下,焊接压力的控制精度将会影响引线焊点形变的一致性。本文提出一种基于Z轴测高和音圈电机施力的压力控制方式,并将其应用于相应工艺设备,压力控制重复精度小于1gf,可满足楔焊工艺的使用需求。

  • 单位
    中国电子科技集团公司第二研究所