为了避免对存在空气内腔器件加工过程中对壁损伤问题，需要实时判断孔穿透状态。针对该问题提出基于激光诱导击穿光谱检测技术的飞秒激光制孔的孔穿透检测方法，选取Cr(I)521.531 nm为特征发射光谱，利用特征谱线强度的变化实现孔穿透状态的判断。设计了光谱检测实验系统并在孔加工实验过程中实现了特征光谱的采集与孔穿透状态的判断，验证了该方法在解决孔加工过程中避免产生对壁损伤问题的可行性。
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