基于玻璃回流的TGV衬底制备

作者：訾鹏; 刘武^*; 梁贺龙; 徐海军

来源：半导体光电, 2021, 42(04): 521-524.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2021.04.014

• TGV
• 阳极键合
• 表面粗糙度
• 硅导通柱

针对MEMS器件背面引线的需求,提出了一种基于玻璃通孔(TGV)加工方法的10.16cm(4inch)圆片衬底的制备工艺流程。首先深硅刻蚀导电硅片,然后将硅片和玻璃片阳极键合,随后将键合后的玻璃-硅圆片经高温加热,使玻璃填充至硅片中,再依次研磨抛光玻璃-硅圆片的正面玻璃和背面硅,直至硅与嵌入玻璃在同一平面,最后得到了厚度为258μm的4inch圆片衬底,其轮廓算术平均偏差、轮廓最大高度、微观不平度十点高度的平均值分别为13,71和49nm。此外,测得圆片中硅导通柱电阻率为0.023Ω·cm。

• 单位
  上海交通大学; 微米/纳米加工技术国家级重点实验室