研究了通过梯度煅烧制度改善薄膜开裂问题的方法和机理。实验在A l2O3基片上采用溶胶-凝胶(So l-G e l)法制备了PZT铁电薄膜,发现薄膜的开裂程度随预烧制度的不同而存在明显的差别。结果表明,通过选择薄膜的预烧温度,使各个薄膜层的预烧温度呈梯度分布,可减小薄膜中的应力,从而改善薄膜的开裂情况。
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