用计算全息图校正非球面的畸变

作者：高松涛; 王高文; **; 隋永新; 杨怀江

来源：光学精密工程, 2013, (08): 1929-1935.

• 非球面检测
• 畸变校正
• 干涉仪
• 计算全息图 aspheric surface testing
• distortion correction
• interferometer
• Computer-generated Holo gram(CGH)

针对用计算全息图(CGH)对非球面进行检测时出现的非对称畸变,分析了3种基本的畸变模型,提出了一种有效的校正非对称畸变的方法。该方法采用较少的拟合参数即可实现对非对称畸变的精确校正,从而可以较大程度地减少畸变校正所需要的数据点对,避免过度拟合效应。通过光学仿真模拟分析了整个干涉仪系统的畸变,并利用以上方法对畸变进行了校正。仿真结果显示,畸变校正的相对残差小于0.2%。最后,设计并制作了处于离轴工作状态的CGH,并用此CGH对非球面进行了检测。利用上述畸变校正方法对测量的非球面面形进行校正,并用校正之后的结果进行加工迭代,最终非球面面形的收敛精度达到1.8nm(RMS),得到的结果验证了提出的畸...

• 单位
  中国科学院大学; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室