多功能磷化铟半导体材料的合成与表征

作者:高强; 毛彩霞*; 薛丽; 吴涛*; 胡永红
来源:华中师范大学学报(自然科学版), 2023, 57(02): 250-280.
DOI:10.19603/j.cnki.1000-1190.2023.02.009

摘要

该文利用化学喷雾热解法,在773 K温度下,基于玻璃衬底沉积得到了磷化铟薄膜.进一步研究发现,磷化铟薄膜为立方相多晶,并且优先取向(111)方向,其直接带隙为1.50 eV.磷化铟薄膜呈现n型导电性,电阻率为5.18×103Ω·cm.因此,磷化铟薄膜材料在未来高频、大功率材料和光电子器件领域具有潜在应用.