基于ELCR的双模微波湿度传感器

作者：丁书聪; 梁峻阁; 黄宜明; 顾晓峰^*

来源：传感器与微系统, 2022, 41(07): 65-80.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)07-0065-04

• 电耦合电感电容谐振器
• 聚酰亚胺微波湿度传感器
• 双谐振点
• 高灵敏度
• 宽范围

基于电耦合电感电容谐振器(ELCR)设计并制造了一种新型聚酰亚胺微波湿度传感器(PMHS),PMHS的双谐振点位置与幅度可按检测需求灵活调节。实验结果显示：在10%～90%RH的湿度范围内，PMHS在1.2 GHz处谐振点偏移量和2.085 GHz处反射系数增量与湿度变化成线性关系，双模线性度R2分别为0.985 4和0.998 7,两者的检测灵敏度分别为83.8 kHz/%RH和0.117 dB/%RH。该研究表明：多谐振微波传感器可作为一种新方案实现宽范围、高线性度、高灵敏度的湿度检测。

• 单位
  江南大学