激光改性后氮化铝基板的可加工性研究

作者：陈妮; 韦佳伟; 张鑫磊; 李亮^*; 何宁

来源：中国机械工程, 2021, 32(23): 2817-2822.

• 氮化铝
• 气体环境
• 激光功率
• 扫描间隔
• 激光改性

利用激光改性方法研究了被广泛应用在微电子组件封装中的氮化铝(AlN)陶瓷基板在不同气体环境、激光功率、扫描间隔下的可加工性,通过试验测量了AlN试件表面硬度值和元素含量。试验结果表明:在N2、Ar、O2三种气体环境下,试件表面成分主要为AlN、Al和Al2O3,且显微硬度计测得Ar环境下的熔覆层硬度最低,最有利于后续切削加工。在Ar环境下,随着激光功率的增大和扫描间隔的减小,AlN表面改性后的硬度减小,最小值可达到174.83HV,更易进行切削加工。

• 单位
  南京航空航天大学