客座主编寄语

作者：吴华强

来源：微纳电子与智能制造, 2020, 2(04): 7.

DOI：10.19816/j.cnki.10-1594/tn.000043

<正>智能微系统一般是指特征尺度为微纳米量级,通过现代化先进设计、集成制造方法,形成具备信息的获取、处理、交互、执行以及能源供给等多种功能,并可独立智能化工作的微型系统装置。智能微系统的5大技术要素包括架构、微电子、微机电系统(MEMS)、光电子和软件。智能微系统的萌芽和兴起均离不开MEMS技术。

• 单位
  清华大学