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摘要
红外地平仪是卫星姿态控制系统的重要设备之一,而热敏电阻红外探头又是红外地平仪的一个关键部件,其质量会直接影响地平仪的性能和可靠性。随着近代空间技术的不断发展,下一代红外地平仪对研制高可靠性、长线列的红外热敏探测器的需求日益迫切。近年来,人们采用化学溶液法在制备锰钴镍氧(Mn-Co-Ni-O或MCN)薄膜材料方面取得了突破。该材料的致密性远远超过陶瓷体材料,可以为长寿命、高可靠性的热敏器件提供一个很好的解决方案。而MCN薄膜型探测器的类微电子制备技术也为实现长线列的多元热敏探测器奠定了基础。采用微电子工艺制作了地平仪用锰钴镍薄膜型红外热敏探测器,并对其中的一些关键工艺(如刻蚀和退火等)进行了颇有裨益的研究。这些新工艺和新方法对于实现薄膜热敏红外探测器在我国空间观测与遥感技术领域的工程应用以及提高红外地平仪的可靠性和使用寿命都有着重要意义。
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单位中国科学院; 红外物理国家重点实验室; 传感技术国家重点实验室; 中国科学院上海技术物理研究所
