基于透射光谱的类金刚石膜光学参数反演

作者：王贵全; 张锦荣; 邵毅; 郑万祥; 唐莹娟; 胡中; 姜兴平; 李彦生; 李伟; 王乔方; 字正华

来源：红外技术, 2021, 43(05): 473-477.

• 类金刚石薄膜
• 透射光谱
• 薄膜厚度
• 折射率
• 消光系数

本文采用透射光谱法测量Ge基底类金刚石薄膜(Diamond-like carbon,DLC)的光谱曲线。应用测量的光谱曲线,基于模拟退火算法,构建目标优化函数,通过光谱反演法得到薄膜的厚度、折射率、消光系数。该方法得到的Ge基底类金刚石膜的光学参数与椭偏仪测试结果比对,折射率误差小于1%,厚度误差小于2%。并且将薄膜的光学参数带入透过率理论计算模型,得到的Ge基底类金刚石薄膜透射光谱曲线和实际测试曲线的误差小于2%。该方法只需测量透射光谱曲线,通过计算就能得到薄膜光学参数,对光学薄膜设计和加工具有重要指导意义。

• 单位
  昆明物理研究所; 昆明北方红外技术股份有限公司