触针式表面轮廓测量仪校准方法研究

作者:董盈钧; 葛岐青
来源:中国计量, 2022, (03): 116.
DOI:10.16569/j.cnki.cn11-3720/t.2022.03.008

摘要

<正>触针式表面轮廓测量仪(以下简称“轮廓仪”)广泛应用于各大领域,但却缺少国家校准规范来对其计量性能的校准做出指导,仅有一个福建省地方规程JJF(闽)1043-2011《接触(触针)式表面轮廓测量仪校准规范》可以作为参考。但经过实际使用后,发现其内容有一些不合理之处。本文主要通过对该规范的解读,来研究轮廓仪几个计量性能的校准方法。