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摘要
为探究266 nm紫外纳秒激光在氧化铝陶瓷表面加工微孔的工艺规律，通过单因素试验法和正交试验法，开展了不同激光参数对孔深、孔径及深径比的工艺试验研究。结果表明：随着激光能量增大，孔深和孔径逐渐增大、深径比逐渐减小，孔深在增长过程中存在阶段性饱和；随着脉冲数量增加，孔深和深径比逐渐增大、孔径逐渐减小；随着离焦量的绝对值增大，孔径逐渐增大、孔深和深径比减少。通过正交试验优化了工艺参数，在激光能量0.093 mJ、脉冲数量1 800个、离焦量0 mm时，可在氧化铝陶瓷表面加工出深径比超过15的微孔，这为提高纳秒激光加工氧化铝陶瓷微孔的加工质量提供了参考。
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