分子束外延生长ZnO薄膜的XAFS研究

作者：吴志浩; 周映雪; 韦世强; 陈栋梁; 俞根才; 张新夷

来源：核技术, 2004, (07): 494-496.

• 分子束外延
• ZnO
• X射线吸收精细结构 ZnO
• MBE
• XAFS

利用同步辐射广延X射线吸收精细结构(EXAFS),研究在不同条件下分子束外延制备的ZnO薄膜,如分别在蓝宝石(0001)、Si(100)衬底上,生长温度为200℃或300℃下得到样品的局域结构。发现这些ZnO薄膜的EXAFS函数(k2x(k))谱形状相似,说明各个样品都具有较为相近的基本局域结构。对生长温度为200℃的ZnO/Al2O3(0001)和ZnO/Si(100)样品,其Zn-O第一配位峰的无序度σ2分别为0.0054A2和0.0080 A2,当生长温度从200℃提高到300℃时,ZnO/Al203(0001)样品的Zn-O第一配位峰的无序度σ2降为0.0039 A2。结果表明衬底与Z...

• 单位
  复旦大学; 应用表面物理国家重点实验室; 中国科学技术大学