光学玻璃的高效精密划切工艺研究

作者:尹韶辉; 曹俊明; 龚胜; 梁振廷; 胡天; 陈逢军; 黄帅
来源:金刚石与磨料磨具工程, 2019, 39(01): 54-59.
DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0010

摘要

利用自主研发的FAD1210高精高效划片机,通过单因素试验法研究了装夹紧固方式、划片刀种类、切割水流量对K9光学玻璃划切性能的影响,且检测其崩边宽度及表面粗糙度来评价划切效果。结果表明:玻璃基板的紧固方式效果较好,UV膜次之,高温硅胶带较差;树脂结合剂划片刀划切玻璃的效果较理想,其崩边宽度较小、表面粗糙度较好,金属刀次之,电镀刀效果较差;切割水流量增大,玻璃崩边宽度和表面粗糙度逐渐减小,当切割水流量大于4.5 L/min时,划切效果趋于稳定。在玻璃基板紧固方式、树脂划片刀和切割水流量4.5 L/min的优化参数下划切K9光学玻璃,划切效果最佳,崩边宽度为5.8μm,表面粗糙度Ra为10.5 nm。

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