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摘要
曲面投影在显示与光刻领域有着重要的应用价值,为实现高分辨的曲面投影成像,提出了以瑞利-索末菲衍射为基础的非均匀采样相位恢复算法,在设计时准确考虑高空间频率的大角度衍射频谱信息,使得投影图像分辨率获得有效提升;建立了衍射面与成像曲面的离散采样方法,并给出了成像分辨率极限的理论表达式。以"田"字形目标图样在圆柱面成像为例,对建立的相位恢复算法和理论进行了验证,结果表明重现的投影像与目标图形符合良好,分辨率与理论预测一致。
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曲面投影在显示与光刻领域有着重要的应用价值,为实现高分辨的曲面投影成像,提出了以瑞利-索末菲衍射为基础的非均匀采样相位恢复算法,在设计时准确考虑高空间频率的大角度衍射频谱信息,使得投影图像分辨率获得有效提升;建立了衍射面与成像曲面的离散采样方法,并给出了成像分辨率极限的理论表达式。以"田"字形目标图样在圆柱面成像为例,对建立的相位恢复算法和理论进行了验证,结果表明重现的投影像与目标图形符合良好,分辨率与理论预测一致。
