用于低温半导体器件筛选的新型温度循环设备

作者：吴礼刚; 刘大福; 朱三根; 吴家荣; 洪思敏; 龚海梅

来源：红外与毫米波学报, 2006, (02): 153-156.

• 低温半导体
• 温度循环
• 环境应力筛选 cryogenic semiconductor
• thermal cycle
• environment stress screen(ESS)

在某些情况下斯特林制冷机采用间歇式工作方式,以延长卫星在太空中的服务年限,因此由斯特林机致冷的低温半导体器件如HgCdTe中长波红外探测器会经受成千上万次从-173℃以下到常温的温度循环,这个过程可能会造成器件的失效.为了研究器件的失效机理和可靠性,帮助筛选器件,本文介绍了一种自制新型的温度循环实验设备,型号TCE-a.经过数千次温度循环,设备满足器件筛选实验要求.

• 单位
  中国科学院上海技术物理研究所; 传感技术国家重点实验室