基于ZnO的超快恢复三乙胺气敏传感器

作者：桂阳海; 涂远生; 田宽; 郭会师; 吴**; 赵帅帅; 黄海

来源：半导体技术, 2022, 47(09): 692-698.

DOI：10.13290/j.cnki.bdtjs.2022.09.003

• ZnO
• 微波辅助法
• 恢复时间
• 三乙胺
• 气敏

不同形貌ZnO纳米材料的合成对高性能气敏传感器的开发具有重要意义。采用微波辅助法合成了ZnO纳米微球和纳米棒，通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)和紫外-可见分光光度计(UV-Vis)分别对材料的结构、形貌和光学性能进行表征，研究了两种形貌ZnO纳米材料的气敏性能。结果表明：ZnO纳米微球与ZnO纳米棒相比表现出良好的气敏性能，在370℃下对体积分数为100×10-6的三乙胺灵敏度高达110.4,响应和恢复时间分别为18 s和2 s,检测限低至0.1×10-6,在长期的循环测试中ZnO纳米微球传感器可以保持较高的响应值、良好的稳定性和重复性。

• 单位
  郑州轻工业大学