CdO-ZnO复合薄膜的光电学特性研究

作者：金健; 栾书多; 顾广瑞^*

来源：延边大学学报(自然科学版), 2021, 47(02): 126-130.

DOI：10.16379/j.cnki.issn.1004-4353.2021.02.007

• CdO-ZnO复合薄膜
• 磁控溅射
• 掺杂
• 光学性能
• 电学性能

采用磁控溅射技术制备了不同原子百分比的CdOZnO复合薄膜,并利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外可见近红外分光光度计、四探针电阻测试仪研究了薄膜的结构和光电学特性.研究表明:适量增加CdO掺杂量可提高薄膜在近红外区域的透射率;CdO-ZnO复合薄膜的光学带隙和电阻率随CdO含量的增加而减小,且当CdO和ZnO的原子百分比为4:1时薄膜的带隙和电阻率分别为2.09 eV和10.79×103Ω·cm.该研究结果可为制备高导电性和高透过率的薄膜提供参考.

• 单位
  延边大学