探针台“四芯”测试算法应用研究

作者：胡晓霞; 李猛; 方敏晰; 温建军

来源：电子工业专用设备, 2022, 51(06): 49-66.

• 探针台
• “四芯”测试
• 晶圆测试

介绍了探针测试的现状，基于探针设备的硬件结构，探索设计一种“四芯”测试算法，达到提高测试效率的目标。实验结果表明了“四芯”测试算法的可行性及有效性。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所